Débits élevés avec une grande fiabilité

Success story Contrôle de la température

Contrôle de la température dans la production de semi-conducteurs

En tant que spin-off de la société ASM, la société Levitech développe et produit des machines pour l'industrie des semi-conducteurs. Afin d'obtenir des structures plus petites et une plus grande uniformité dans les semi-conducteurs demandés par le marché, le fabricant de machines a dû mettre en oeuvre de nouvelles méthodes de transfert de chaleur. Cela nécessite une correction de température plus rapide et, surtout, un contrôle plus précis. C'est pourquoi Levitech recherchait une alternative pour la commande du process thermique de ses machines Levitor. Avec JUMO, l’entreprise d’Almere aux Pays-Bas a trouvé le partenaire avec lequel la solution a pu être mise en oeuvre.

Tâche

Le réacteur pour la fabrication de plaquettes est composé de 2 disques en graphite qui sont chauffés en fonction de la température du process. Afin d'obtenir des résultats optimaux, ceux-ci doivent avoir des propriétés spécifiques. A l’aide de gaz, la plaquette flotte entre les deux disques pendant le processus sans les toucher. Pour atteindre la température requise de 1 200 °C, des éléments chauffants spéciaux de Kanthal® sont utilisés.

En utilisant des méthodes innovantes de transfert de chaleur, il est possible de chauffer la plaquette très rapidement et de la refroidir à nouveau très rapidement. De chaque côté de la plaquette se trouve une ouverture uniforme de 0,15 millimètre, assurant une conductibilité thermique très efficace. La plaquette est chauffée à la température des disques en quelques secondes. Ceux-ci sont contrôlés par une commande de chauffage spécifique.


Machine Levitor pour la production de semi-conducteurs de Levitech

Solution

Un variateur de puissance à thyristors JUMO est utilisé. Le JUMO TYA 201 contrôle le courant souhaité ainsi que la tension de l'élément chauffant Kanthal® dans chaque phase de température et garantit ainsi la courbe de température précise du process. Ce système permet de fabriquer les plaquettes à une température optimale et toujours identique.
Levitech répond ainsi aux exigences du marché et augmente en même temps la vitesse de traitement.

Plaquette dans Levitech Levitor

Plaquette dans les machines Levitor de Levitech

Erhitzter Wafer im Levitor von Levitech

La plaquette dans le processus thermique des machines Levitor de Levitech

Résultat

En raison des propriétés du variateur de puissance à thyristors JUMO TYA 201, le souhait d'une régulation plus précise et d'une correction de température plus rapide a pu être mise en œuvre. En conséquence, les méthodes innovantes de transfert de chaleur peuvent désormais être utilisées dans la production de semi-conducteurs. De cette façon, Levitech répond aux exigences du marché et augmente en même temps la vitesse de débit.